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第八十九章 范学东（第4页）

并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘，因为硅片很薄，不能用机械的方式传输，否则会损伤硅片。

同理打磨托盘也要是真空吸盘式，肯定不能用卡钳的方式，否则损伤更大。

上胶机必须设计两部，两种不同的胶不能混和在一起，否则会有互相沾染的危险。

最重要的是上完胶要有一个烘干的步骤，这里也要用机械臂直接输送不用设轨道。

因此必须把两台上胶机都布置在对面。

两台上胶机和打磨机体积都不大，可以布置得很紧凑。

又因为各个步骤都要检测，因此我们可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭，方便使用电子显微镜检测。

我设想的大体系统架构就是这样，具体到每部机器再具体设计。

大家有什么补充的就说一下。”

说完他就坐到。

，将位置让了出来。

“咳咳”

卢汝成见其它人都不说，就咳嗽两声，开始发言：“我认为郭部长的设想已经非常完善了，我只补充一条，还需要一个单独的光刻胶腐蚀步骤。

因为光刻机会进行多次光刻，那么就要进行多次的上胶去胶，因此，有必要设计一个单独的去胶室。”

说完这些他就不再说了，把时间让给别人了。

其实到了这一步已经非常完善了，大家没什么好补充的了。

因此一下子冷场了。

郭东见大家不再发言，就又站起来说：“既然大家不再补充啦！

那我们就散会吧！

吃饭时间到了，我们公司食堂的饭菜很好的，大家都知道的。

哦！

瞧我，范先生是客人不知道。

罪过罪过！”

说完他调皮的对范学东双手作揖。

“哈哈哈哈！”

大家又开心的大笑起来。

一个有能力的人，总是会想办法调节气氛。

而郭东就是这样的人。

……