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第98章 深硅刻蚀工艺（第1页）

第98章深硅刻蚀工艺

“哦？都有哪些传感器？”

孙厂长坐直了身体。

“到目前为止，思路已经成熟的，除了上次展示过的加速度传感器，简单一些的压力传感器，水平传感器，还有飞机上会用到的高度传感器，空速传感器”

陈泉在黑板上，连续写下了一长串的名字。

既然明白了“他”

做的东西，都是传感器，再去寻找那二十多个实验的目的，就容易了很多。

虽然有些非常复杂的结构，陈泉还是摸不清头绪，但其中不少结构，每个实际可以有多种用途。

更不提，“他”

提供了好几种通用结构。

所以，有些传感器，是原来“他”

实验里包括的，但也有不少，是陈泉跟赵薇薇讨论后，自行扩展出来的。

原理搞清楚了，可以很容易的举一反三。

“还有一个结构比较复杂的陀螺仪。

这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”

“陀螺仪？陀螺仪也能用mems技术加工出来吗？”

刘院长身边的中年人，站了起来。

陀螺仪在很多场合，都是核心传感器。

“您是？”

孙厂长回头询问。

“我是跟老刘一起来的，你们叫我王工就好了。”

中年人没有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不问了。

“你还没有回答我的问题呢？小伙子！”

“哦。

当然能了。

由于陀螺仪的造型过于复杂，我还特意带来了它的模型。”

陈泉一摆手，曲燕秋就托着一套，由纸壳做的简陋样品，走上讲台。

——

微电子实验室。

“你的手抖什么抖啊？这块晶圆片算是废了！”

张栋被气得浑身发抖。

“你知道，这块晶圆片值多少钱吗？加上刚才消耗的各种药水，制剂，一百元！

让你一抖，就这么没了！”