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第98章 深硅刻蚀工艺（第3页）

牺牲层技术（工艺），1985年才被引入到半导体加工领域，“表面”

微机械加工概念由此产生。

之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。

王工的专业性评价，大多数人没有听懂，但并不妨碍大家把目光投向陈泉，等待解释。

“是的。

这个陀螺仪，我不准备只采用牺牲层工艺。”

陈泉没有丝毫慌乱。

记忆里，陀螺仪采用的加工工艺，的确发生了变化。

之所以，陈泉要抛出新论文，也跟加速度传感器论文，被《appliedphysicsletters，应用物理快报》采用有些关系。

应用物理快报，在半导体工艺系列里，算是与mems有关联的期刊里，最好的一波期刊了。

其sci影响因子超过了4。

（真正的mems专业期刊，还没有面世。

）

按理，论文被确定采纳，是件大好事，但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。

因为不论是他还是她，都没有任何感觉。

前两次的过关，陈泉和曲燕秋，都能明显看到，或者感到一些不同。

例如第一次过关，曲燕秋被实质激活，第二次，干脆苏醒。

可现在，没有消息，就是最坏的消息。

所以两个人，不得不继续拔高心理目标，把论文的层次，再推高一个档次。

这次的目标，盯叮住了cns（cell，science，nature），这三本顶级超一流期刊，一次就给他搞到位。

这种超一流期刊论文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在国内，就可以开宗立派，直接成立专属实验室，乃至新的专业。

这个陀螺仪，以及它后面的工艺论文，就是陈泉和曲燕秋两个人，精心选出来的目标。

“不是牺牲层工艺？还有别的工艺吗？我怎么没有听说？”

王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年轻得不像话的青年。

“嗯，姑且算是我的发明吧。

这次想申请的专利，就有它一个。”

国际专利申请的初期，钱不算太多，交800到一千美元的报名费，就可以有12到18个月的独占期。

没有这个时间差，mems项目组，支付不起加速度传感器的专利申请。

“这个工艺叫什么名字？”

“嗯，叫”

陈泉挠了挠头。

所有的记忆，都是图像记忆，名字什么的，从来都是没有。

“我还没有给它起名呢。